В статье обсуждается методика масс-спектрометрии с индуктивно связанной плазмой (ICP-MS) на примере анализа результатов изучения докембрийских мафитов и ультрамафитов восточной части Фенноскандинавского щита и слагающих их минералов. Показана возможность измерения валового состава проб, как с использованием химического разложения образцов, так и с применением локального лазерного пробоотбора (LA-ICP-MS). Качество анализа (точность и воспроизводимость) оценено с использованием российских и международных стандартных образцов горных пород и внутрилабораторных(in house) контрольных образцов. Приведен состав и результаты измерений внутрилабораторных стандартов С-1412, КН1 и КК1. Изучено влияние режимов лазерного испарения на точность и воспроизводимость результатов определения содержаний химических элементов при LA-ICP-MS анализе эталонных образцов, минералов и горных пород. Показано, что чувствительность метода зависит не только от физико-химических свойств природных объектов (температура плавления, летучесть), но и от применяемой методики лазерной абляции.